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微就是小，納就是小到納米級別，應用：CPU、手機CPU、各種微電子芯片（銀行卡、公交卡，手機sim卡，耳機里的聲音處理芯片，等等，還有U盤等各種基于硅材料的半導體存儲設備）制作材料主要是硅，硅材料資源比較豐富，制備工藝成熟；其他應用方向也有用化合物半導體的。

微納器件一般以微納光學元件為主 ，基本上以納米為計算單位的器件都可稱為微納器件。

對于此行業來說，清洗是少不了的一道工序。超聲波清洗機就是被廣泛運用到了各行各業起到了較好的清洗作用。

而被清洗的產品有大有小、量多量少、簡單復雜。其中就需先了解下尺寸大小，對于微納的清洗也是一樣的。威固特VGT-1509FH超聲波清洗機的內槽尺寸是L280×W390×H260(mm)，材質選用的是進口SUS316板，δ2.0mm。

此臺超聲波清洗機的槽體每槽設四面溢流口，溢水槽寬35 mm，各槽皆為獨立循環槽，由循環泵將洗劑由儲液箱抽出經過濾后再運回清洗槽，即子母槽循環。

儲液箱結構的優勢則是由隔板分成兩腔，分油后的清潔溶液經循環泵重新抽入清洗槽，實現自我循環，提高溶液的利用率，而分離后的油排放到總排管。

VGT-1509FH超聲波清洗機的優勢還是顯而易見的：

1、槽面設齒狀溢流結構，純水由純水預熱箱進入。槽外貼保溫棉厚10mm。

2、槽體上部設抽風小孔，將溢出水蒸汽抽走，防止水汽再次附著于提出的產品上。

3、在烘干槽頂部加設FFU系統，有效減少環境對洗凈效果的影響。（工件加溫后，對灰塵的附著力增強，FFU形成負壓可有效減少環境對洗凈效果的影響，從而從根本上提高產品合格率）。

4、每個烘干槽配置一套氣缸，氣缸帶動產品一起運動，形成密封蓋。

5、籃子的下面放置一支撐結構，以方便風源更加通透作用于工件。

6、在烘干槽正上方的機架頂部設置一個FFU層流送風單元。由上往下吹風形成負壓風，致使工件加熱后附著物不易粘附。

7、拋動機構：清洗過程中工件作均勻地拋動，可以增加工件與液體的摩擦，有利于表面污垢迅速脫落，提高清洗效果。